JKL PVD belægning grundlæggende proces

(1) Pre-PVD-behandling, herunder rengøring af emner og forbehandling.Specifikke rengøringsmetoder omfatter rengøringsmiddelrengøring, kemisk opløsningsmiddelrensning, ultralydsrensning og ionbombardementrensning.
(2) Sæt dem i ovnen, inklusive vakuumkammerrengøring og inventar, og installation, idriftsættelse og tilslutning af emner og inventar.
(3) Støvsugning, generelt pumpning til 6,6 Pa eller mere, åbne forsiden af ​​diffusionspumpen tidligere for at opretholde vakuumpumpen og opvarme diffusionspumpen.Når forvarmningen er tilstrækkelig, åbnes højventilen og pumpes til et 6 x 10-3 Pa halvbundsvakuum med en diffusionspumpe.
(4) Bagning, bagning af emnerne til den ønskede temperatur.
(5) Ionbombardement, vakuumet er generelt 10 Pa til 10-1 Pa, ionbombardementspændingen er en negativ højspænding på 200 V til 1 KV, og angrebstiden er 15 min til 30 min.
(6) Forsmeltning, justering af strømmen for at forsmelte materialet, justering af strømmen for at forsmelte pletteringen og afgasning i 1 min ~ 2 min.Fordampende aflejring.Fordampningsstrømmen justeres efter behov, indtil den ønskede deponeringstid er forbi.Afkøling, emnerne afkøles til en bestemt temperatur i vakuumkammeret.
(7) Efter at emnerne er taget ud, lukkes vakuumkammeret, vakuumet evakueres til l × l0-1Pa, og diffusionspumpen afkøles til den tilladte temperatur, før vedligeholdelsespumpen og kølevandet kan slukkes.
 


Indlægstid: 07-07-2021