(1) Pre-PVD-behandling, herunder rengøring af emner og forbehandling.Specifikke rengøringsmetoder omfatter rengøringsmiddelrengøring, kemisk opløsningsmiddelrensning, ultralydsrensning og ionbombardementrensning.
(2) Sæt dem i ovnen, inklusive vakuumkammerrengøring og inventar, og installation, idriftsættelse og tilslutning af emner og inventar.
(3) Støvsugning, generelt pumpning til 6,6 Pa eller mere, åbne forsiden af diffusionspumpen tidligere for at opretholde vakuumpumpen og opvarme diffusionspumpen.Når forvarmningen er tilstrækkelig, åbnes højventilen og pumpes til et 6 x 10-3 Pa halvbundsvakuum med en diffusionspumpe.
(4) Bagning, bagning af emnerne til den ønskede temperatur.
(5) Ionbombardement, vakuumet er generelt 10 Pa til 10-1 Pa, ionbombardementspændingen er en negativ højspænding på 200 V til 1 KV, og angrebstiden er 15 min til 30 min.
(6) Forsmeltning, justering af strømmen for at forsmelte materialet, justering af strømmen for at forsmelte pletteringen og afgasning i 1 min ~ 2 min.Fordampende aflejring.Fordampningsstrømmen justeres efter behov, indtil den ønskede deponeringstid er forbi.Afkøling, emnerne afkøles til en bestemt temperatur i vakuumkammeret.
(7) Efter at emnerne er taget ud, lukkes vakuumkammeret, vakuumet evakueres til l × l0-1Pa, og diffusionspumpen afkøles til den tilladte temperatur, før vedligeholdelsespumpen og kølevandet kan slukkes.
Indlægstid: 07-07-2021